材料特性
材料 | 3“4”6“钽酸锂晶片(声学级/光学级) |
切型 | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ 可定制切角 |
居里温度 | 605°C±3°C |
掺杂 | Fe 铁 |
加工能力
表面处理 | 表面抛光/双面抛光单面研磨双面研磨 | |
厚度 | 0.18/0.25/0.35/0.50/1.00 + mm / 0.25/0.35/0.50/1.00+mm | |
TTV | < 1~5µm | |
BOW | ± (25µm ~40um ) | |
Warp | <= 35µm | |
LTV(5mm×5mm) | <1.5 um | |
PLTV(<0.5um) | ≥98% (5mm*5mm) 边缘2mm除外 | |
边缘 | 符合 SEMI M1.2@with GC800# .regular at C typed | |
定向平台 | 根据要求定制 | |
抛光面 | 粗糙度Ra≤5A | |
反面 | 粗糙度 Ra:0.5-1.0µm GC#1000 | |
倒角 | 符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276 | |
裂缝、锯痕、污渍 | 无 |