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铌酸锂、钽酸锂

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钽酸锂(LiO3Ta)

钽酸锂(LiO3Ta)


材料特性

材料3“4”6“钽酸锂晶片(声学级/光学级)
切型X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ   可定制切角
居里温度605°C±3°C
掺杂Fe 铁


加工能力

表面处理表面抛光/双面抛光单面研磨双面研磨
厚度0.18/0.25/0.35/0.50/1.00 + mm      /      0.25/0.35/0.50/1.00+mm
TTV< 1~5µm
BOW± (25µm ~40um )
Warp<= 35µm
LTV(5mm×5mm)<1.5 um
PLTV(<0.5um)≥98% (5mm*5mm)   边缘2mm除外
边缘符合 SEMI M1.2@with GC800#  .regular at C typed
定向平台根据要求定制
抛光面粗糙度Ra≤5A
反面粗糙度 Ra:0.5-1.0µm GC#1000
倒角符合 SEMI M1.2 Standard/refer to IEC62276
裂缝、锯痕、污渍



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