石英玻璃
| 材质 | 99.99% 石英玻璃 | ||
| 石英牌号 | JGS1 | JGS2 | JGS3 |
| 透过率波段 | 深紫外 0.185~2.5 um | 紫外 0.220~2.5 um | 红外 0.260~3.5 um |
| 项目 | 石英晶圆 | 石英玻璃抛光片 | ||
| 尺寸 (*) | 2 inch (50.8mm) | 4 inch (100mm) | 6 inch (150mm) | 尺寸定制，圆形和方形，典型尺寸：25*25mm, 50*50mm, 85*85mm, 100*100mm |
| 典型厚度 (*) | 400 ± 25um | 500 ± 25um | 1000 ± 25um | 厚度定制，典型厚度：0.2mm, 0.5mm, 1mm |
| 定位边 | 16 ± 1mm | 30 ± 1mm | 47.5 ± 1mm | N/A |
| 表面光洁度 | S/D (Scratch/Dig): 40/20 | |||
| 总厚度公差TTV | <10 um | <15 um | <20 um | - |
| 翘曲度BOW | <10 um | <15 um | <30 um | - |